Мне интересно, есть ли способ указать размер кэш-памяти RAM, используемой для хранения ramfs , tmpfs?
Когда я смотрю на /proc/ , я не могу найти ничего о размере ramfs .  
С http://www.kernel.org/doc/Documentation/filesystems/tmpfs.txt:
Далее вы можете проверить фактическое использование RAM+swap экземпляра tmpfs с помощью df(1) и du(1).
Так что просто используйте df или du (вы также можете использовать их для ramfs):
$ df | grep tmpfs
tmpfs             205032      1136    203896   1% /run
поэтому 1136 КБ используется.
$ sudo du -s /run
[sudo] password for jaume: 
1416    /run
поэтому используется 1416 КБ .
Это интересно ... df и du сообщают разные размеры. Что здесь происходит и какой из них прав?
/run имеет подпапку с именем /run/shm , которая сама по себе является отдельной файловой системой tmpfs (хотя отображается как none):
$ df | grep run
tmpfs             205032      1136    203896   1% /run
none                5120         0      5120   0% /run/lock
none              512572       280    512292   1% /run/shm
Сложив обе суммы, вы получите размер, сообщаемый du:
$ expr 1136 + 280
1416
Таким образом, вся история такова, что 2 файловые системы tmpfs используют 1416 КБ.
(Вот еще одна причина, почему выходы du и df могут отличаться.)