Попробуйте запустить тест производительности на каждом томе с помощью HDTune. Это может помочь вам определить, вызывает ли одна из дисковых подсистем низкую производительность.
Количество файлов может оказать огромное влияние на производительность. Копирование сотен тысяч (или более) маленьких файлов будет намного медленнее, чем копирование нескольких тысяч больших файлов.
Вы упоминаете, что используете Robocopy, поэтому я предполагаю, что вы используете Windows. Если у вас есть каталоги со многими файлами с одинаковыми именами, и у вас включено создание имени файла 8.3, перечисление каталога будет экспоненциально медленнее в этих каталогах, чем если вы отключите создание имени файла 8.3.
Другая возможность состоит в том, что один или несколько дисков в исходном или целевом RAID-массиве неисправны. Даже если у вас не было катастрофического сбоя, но было много перераспределенных секторов, переназначение плохих секторов повлияет на производительность. Запустите длинную / расширенную диагностику на каждом диске.